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申请/专利权人：优尼科(青岛)微电子有限公司

摘要：本发明提供了提供了一种静电式MEMS法珀腔芯片的调平系统及调平方法：其中装置包括处理终端、光谱仪、光学准直器、聚焦模块、非相干宽光谱光源和用于调平MEMS法珀腔芯片的驱动调整组件；光学准直器的出射端设置有所述光谱仪，驱动调整组件设置于光谱仪和光学准直器之间，光谱仪对处理终端发送光谱数据，处理终端对驱动调整组件进行驱动控制；驱动调整组件包括电压控制模块和芯片夹具，芯片夹具用于固定MEMS法珀腔芯片并通过导电弹片的方式与MEMS法珀腔芯片盖板上的四个驱动电极相连接。通过该装置可以快速的找到每个驱动电极在每个滤光波段需要的电压分量，通过在驱动电压上增加对应的电压分量使法布里珀罗腔芯片在工作时是水平状态。

主权项：1.一种静电式MEMS法珀腔芯片的调平方法，其特征在于：采用一种静电式MEMS法珀腔芯片的调平系统，调平系统包括处理终端、光谱仪、光学准直器、聚焦模块、非相干宽光谱光源和用于调平MEMS法珀腔芯片的驱动调整组件；所述非相干宽光谱光源的出射端与聚焦模块相连接，所述聚焦模块的出射端与光学准直器相连接，所述光学准直器的出射端设置有所述光谱仪，所述驱动调整组件设置于光谱仪和光学准直器之间，所述光谱仪通过串口与处理终端相连接并向处理终端发送光谱数据，所述处理终端用于接收存储数据、分析计算数据和发送相应的电压调整指令，所述处理终端通过串口与驱动调整组件相连接并对驱动调整组件进行驱动控制；所述驱动调整组件包括电压控制模块和芯片夹具，所述芯片夹具用于固定MEMS法珀腔芯片并通过导电弹片的方式与MEMS法珀腔芯片盖板上的四个驱动电极相连接，所述电压控制模块用于控制不同的电压输出并分别发送给四个驱动电极；并包括以下步骤：步骤1，非相干宽光谱光源发射的宽谱光源依次通过聚焦模块和光学准直器，并穿过MEMS法珀腔芯片，处理终端控制电压控制模块输出多组驱动电压，并通过光谱仪获得对应的光谱特征；步骤2，处理终端选取760nm到860nm波段范围内的4组光谱的中心波长及对应的驱动电压Vdc进行调平；获得4组调平状态时四个电极的补偿电压值以及对应的驱动电压Vdc；调平过程即根据处理终端从光谱仪读取的光谱数据，按照下列公式调整四个电极的补偿电压△V1、△V2、△V3和△V4的值，其中△V1、△V2、△V3和△V4调整时的步进电压为0.03V，V1、V2、V3、V4是四个驱动电极的驱动电压；V1=Vdc+△V1V2=Vdc+△V2V3=Vdc+△V3V4=Vdc+△V4每调整一次，通过光谱仪获得光谱数据并发送给处理终端，处理终端分析对应中心波长处的光谱曲线是否轴对称，如果不对称则继续调整△V1、△V2、△V3和△V4的值，直到中心波长处的光谱曲线对称；步骤3，根据步骤2获得的4组调平状态时四个电极的补偿电压值以及对应的驱动电压Vdc，计算得出此MEMS法珀腔芯片的四个电极调平时补偿电压分别与对应驱动电压Vdc的函数关系；步骤4，根据步骤3中获得的函数关系推算出其他驱动电压Vdc和对应光谱波段下的补偿电压的调平参数。

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