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一种真空蒸镀机自翻面式镀锅结构 

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申请/专利权人:苏州佑伦真空设备科技有限公司

摘要:本发明公开了一种真空蒸镀机自翻面式镀锅结构,属于真空蒸镀机技术领域,本发明包括镀锅本体,所述镀锅本体的中部固定连接有中心杆,且镀锅本体上安装有承载架,并且承载架的中部内侧固定连接有基片本体;还包括:所述中心杆上固定连接有限位盘,且限位盘的下端通过轴承连接有套管,所述套管的周向固定连接有驱动杆,且套管上键连接有联动齿轮;所述驱动杆远离套管的一端侧边设置有叶轮,且叶轮安装在传动杆上,并且传动杆固定在承载架的中部。该真空蒸镀机自翻面式镀锅结构,能够方便对镀锅上的基片进行具有选择性的自动翻面,避免在翻面时所有的基片同时翻转,且能够方便对镀膜工件的热量及时散发,降低挂流情况发生的概率。

主权项:1.一种真空蒸镀机自翻面式镀锅结构,包括镀锅本体(1),所述镀锅本体(1)的中部固定连接有中心杆(2),且镀锅本体(1)上安装有承载架(3),并且承载架(3)的中部内侧固定连接有基片本体(4),所述镀锅本体(1)位于蒸镀机的内部上端,且镀锅本体(1)中部的中心杆(2)贯穿安装在蒸镀机的上端中部;其特征在于,还包括:所述中心杆(2)上固定连接有限位盘(5),且限位盘(5)的下端通过轴承连接有套管(6),所述套管(6)的周向固定连接有驱动杆(7),且套管(6)上键连接有联动齿轮(8),所述联动齿轮(8)的侧边啮合连接有从动齿轮(9),且从动齿轮(9)固定在伺服电机(10)的输出端上,所述伺服电机(10)固定在限位盘(5)上;所述驱动杆(7)远离套管(6)的一端侧边设置有叶轮(11),且叶轮(11)安装在传动杆(12)上,并且传动杆(12)固定在承载架(3)的中部,所述叶轮(11)的侧边对称安装有两个第一电动伸缩杆(13),且第一电动伸缩杆(13)的伸缩端上固定连接有抱紧片(14),所述抱紧片(14)的侧边固定连接有挤压块(15),且挤压块(15)的内侧设置有衔接架(16),所述衔接架(16)通过复位弹簧(17)和传动杆(12)的内部相互连接,且衔接架(16)远离挤压块(15)的一端外侧设置有卡孔(18),并且卡孔(18)开设在镀锅本体(1)上,所述中心杆(2)的中部安装有减少基片本体(4)挂流的水冷机构(19)。

全文数据:

权利要求:

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