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申请/专利权人：大日本印刷株式会社
摘要：本发明的蒸镀掩模具备：包含硅的掩模基板；具有第1面和位于第1面的相反侧且与掩模基板相向的第2面的掩模层；和贯通掩模层的贯通孔。掩模基板具有基板开口。在俯视时，贯通孔位于基板开口内。掩模层具有：形成第1面的掩模主体层；和位于掩模主体层与掩模基板之间的掩模中间层。掩模主体层包含金属材料。
主权项：1.一种蒸镀掩模，其具备：掩模基板，其包含硅；掩模层，其具有第1面和位于所述第1面的相反侧且与所述掩模基板相向的第2面；和贯通孔，其贯通所述掩模层，所述掩模基板具有基板开口，在俯视时，所述贯通孔位于所述基板开口内，所述掩模层具有：掩模主体层，其形成所述第1面；和掩模中间层，其位于所述掩模主体层与所述掩模基板之间，所述掩模主体层包含金属材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大日本印刷株式会社 蒸镀掩模、带框架的蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法、有机器件的制造方法和带框架的蒸镀掩模的制造方法
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