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申请/专利权人：苏州迈正科技有限公司
摘要：本发明提供了一种真空载片装置及真空镀膜设备，涉及真空镀膜设备技术领域，所述真空载片装置包括：腔体、载片架和分气模组，所述载片架和所述分气模组均位于所述腔体内部，且所述载片架和所述分气模组沿第一方向依次设置；所述分气模组包括进气口和出气口，以及连通进气口和出气口的通道，所述进气口与外界气源连通，以使外界的气体能够通过所述分气模组进入到所述腔体内部，所述出气口设置在所述分气模组的侧壁上，所述出气口朝向所述载片架的周向外侧。
主权项：1.一种真空载片装置，其特征在于，所述真空载片装置包括：腔体（100）、载片架（200）和分气模组（300），所述载片架（200）和所述分气模组（300）均位于所述腔体（100）内部，且所述载片架（200）和所述分气模组（300）沿上下方向依次设置，所述载片架（200）位于所述分气模组（300）上方；所述分气模组（300）包括进气口、出气口、以及连通进气口和出气口的通道，所述进气口与外界气源连通，以使外界的气体能够通过所述分气模组（300）进入到所述腔体（100）内部，所述出气口设置在所述分气模组（300）的侧壁上，所述出气口朝向所述载片架（200）的周向外侧；所述分气模组（300）包括多个填充块（310），每个所述填充块（310）上均设置有进气口和出气口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州迈正科技有限公司 真空载片装置及真空镀膜设备
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