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一种送料小车及卧式气相沉积炉 

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申请/专利权人:湖南烁科热工智能装备有限公司

摘要:本实用新型公开了一种送料小车,用于卧式气相沉积炉,包括移动组件、保温组件、加热组件和载料板,移动组件设置在保温组件的下方,加热组件设置在保温组件的上方,载料板通过支撑柱安装在加热组件的上方,还包括插拔机构,插拔机构包括插座组件和插头组件,插座组件用于安装在卧式气相沉积炉内,插头组件用于快速插入插座组件或从插座组件中拔出以实现加热组件通电或断电。本实用新型还公开了一种卧式气相沉积炉。本实用新型具有能快速方便装卸料、装卸料时间短、能提高生产效率且维护更加方便等优点。

主权项:1.一种送料小车,用于卧式气相沉积炉,其特征在于,包括移动组件1、保温组件2、加热组件3和载料板4,所述移动组件1设置在保温组件2的下方,所述加热组件3设置在保温组件2的上方,所述载料板4通过支撑柱5安装在加热组件3的上方,还包括插拔机构,所述插拔机构包括插座组件6和插头组件7,所述插座组件6用于安装在卧式气相沉积炉内,所述插头组件7用于快速插入插座组件6或从插座组件6中拔出以实现加热组件3通电或断电。

全文数据:

权利要求:

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