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申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
摘要：本申请涉及一种化学气相沉积设备水冷式进气结构，其包括进气管，一端为与反应室连通的进气口，另一端为与原料气源连通的转接口；延伸套管，一端与所述进气口连接，另一端与反应室上盖连接，所述延伸套管与所述进气管同轴设置并且所述延伸套管的内径大于所述进气管的外径；保温层，所述进气口伸入所述保温层内部，且所述进气管与所述延伸套管结合点也位于所述保温层内；水冷件，设置在所述进气管外，且所述水冷件内用于通入冷却水；气流分割件，所述气流分割件设置在所述反应室上盖的下方并且位于原料气源从延伸套管进入反应室的流动路径上。本申请具有减少原料在进气口堵塞造成原料浪费的效果。
主权项：1.一种化学气相沉积设备水冷式进气结构，其特征在于：包括：进气管1，一端为与反应室连通的进气口，另一端为与原料气源连通的转接口；延伸套管2，一端与所述进气口连接，另一端与反应室上盖12连接，所述延伸套管2与所述进气管1同轴设置并且所述延伸套管2的内径大于所述进气管1的外径；保温层3，所述进气口伸入所述保温层3内部，且所述进气管1与所述延伸套管2结合点也位于所述保温层3内；水冷件，设置在所述进气管1外，且所述水冷件内用于通入冷却水；气流分割件4，所述气流分割件4设置在所述反应室上盖12的下方并且位于原料气源从延伸套管2进入反应室的流动路径上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 一种化学气相沉积设备水冷式进气结构
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