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一种硅管翻新工艺及用于硅管翻新的工装治具 

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申请/专利权人:吉盛微(宁波)精密科技有限公司

摘要:本发明涉及一种硅管翻新工艺及用于硅管翻新的工装治具,通过控制半流体研磨膏的挤压力度、流速和半流体研磨膏的流量,能够在避免损坏硅管的同时,一次性研磨清洗掉硅管内壁的沉积层;同时,半流体研磨膏能够充分清洗研磨硅管管内壁的各个死角,从而完成硅管的翻新,延长硅管的使用寿命,节省硅管原材料的消耗和硅管的加工成本;并结合工装治具夹持一个至多个硅管,并通过挤压台从通道口将半流体研磨膏挤入硅管中尽显研磨清洗,节省硅管的翻新加工周期。

主权项:1.一种硅管翻新工艺,其特征在于,包括:步骤1:切割硅管的端盖,使硅管整体畅通;步骤2:使用工装治具夹持硅管口径大的一端;步骤3:使用挤压台将半流体研磨膏从固定硅管的一端端口挤入,挤压台的挤压力度控制在60-80公斤,半流体研磨膏的流速为硅管内径最小截面积*600-800min,半流体研磨膏的总流量为硅管内孔总体积的20-30倍;步骤4:使用气压枪吹出硅管内残留的半流体研磨膏;步骤5:重新加工一个端盖,然后使用¢6MM刀具将硅管切割端加工平整,并将端盖与硅管放置在高温炉中进行烧结;步骤6:采用喷砂或研磨去除硅管外壁上的沉积膜。

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