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申请/专利权人:天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
摘要:本发明公开了一种高硬度、低摩擦系数的VC纳米复合涂层及其制备方法,属于涂层技术领域。本发明采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积VC纳米复合涂层,其中:靶材选取金属V靶,沉积VC纳米复合涂层时,开启V靶并通入Ar和C2H2,通入Ar的流量为120~150sccm,通入C2H2流量为5~30sccm,气体总流量130~180sccm。本发明通过优化VC涂层中的C含量,使所制备涂层中包含fcc‑VC晶相和金属V的纳米复合结构,且VC相沿111晶面择优生长,从而获得兼具高硬度、低摩擦系数的涂层。
主权项:1.一种高硬度、低摩擦系数的VC纳米复合涂层的制备方法,其特征在于:该方法是采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积VC纳米复合涂层,其中:靶材选取金属V靶,沉积VC纳米复合涂层时,开启V靶并通入Ar和C2H2,通入Ar的流量为120~150sccm,通入C2H2流量为10~30sccm,气体总流量130~180sccm。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) 一种高硬度、低摩擦系数的VC纳米复合涂层及其制备方法
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