龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司
摘要：本发明提供一种驱动机构、晶片表面清理设备及抛光设备，驱动机构包括转料驱动件、输出轴、轮体支架和从动轮，输出轴连接于转料驱动件并能够转动，从动轮转动安装于轮体支架，输出轴及或从动轮套设有可弹性形变的蓄水套，蓄水套在受压状态下释放液体。蓄水套能够在晶片边缘的压力作用下被加压，从而排出具有一定初速度的液体，因此可以利用从蓄水套中排出的液体清洗晶片的外周边缘，更好地清除晶片表面的杂质及晶粒残留，提高了晶片的清洗质量；此外，蓄水套可以对晶片起到一定的缓冲减震作用，降低晶片受震荡冲击而损坏的概率，有利于提高晶片的良品率。
主权项：1.一种晶片表面清理设备，包括晶片表面清理机构20和驱动机构，所述驱动机构用于带动晶片绕该晶片的轴线转动，其特征在于，所述驱动机构包括转料驱动件112、底座15、输出轴113、轮体支架122和从动轮121，所述输出轴113连接于所述转料驱动件112并能够转动，所述从动轮121转动安装于所述轮体支架122，所述输出轴113及或所述从动轮121套设有可弹性形变的蓄水套1111，所述蓄水套1111呈中空圆柱套状结构，所述蓄水套1111在受压状态下释放液体，包括位于所述蓄水套1111的外周壁的接触部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江求是半导体设备有限公司 浙江晶盛机电股份有限公司 晶片表面清理设备及抛光设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号