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申请/专利权人：环球晶圆股份有限公司
摘要：本发明公开一种切片设备及其断线检测装置。所述断线检测装置包含一承载支架、一防震机构、一检测棒、及一声发射传感器。所述承载支架形成有一容置腔室及架设于所述容置腔室外的一横向隔板。所述承载支架以所述容置腔室而用来固定于一机台本体。所述防震机构安装于所述承载支架的所述容置腔室之内。所述检测棒用以设置于安装在所述机台本体的多个滚轮的一侧，并且所述检测棒的一端安装于所述承载支架的所述横向隔板。所述声发射传感器安装于所述承载支架。据此，通过所述声发射传感器来实现音频感应式的断线检测，此具备有较高的检测灵敏度，以利于尽快地得知所述切割线材的断裂，进而能够实时处理、以有效地降低晶棒报废的机率。
主权项：1.一种切片设备，其特征在于，所述切片设备包括：一切片装置，包含有一机台本体、安装于所述机台本体的多个滚轮、及卷绕于多个所述滚轮的一切割线材；其中，任一个所述滚轮相对于所述切割线材定义有一入线端与一出线端；以及一断线检测装置，包含：两个承载支架，安装于所述机台本体，并且其中一个所述承载支架邻近于所述入线端并定义为一第一承载支架，而其中另一个所述承载支架邻近于所述出线端并定义为一第二承载支架；至少一个防震机构，安装于所述第一承载支架；一检测棒，位于多个所述滚轮的一侧，并且所述检测棒的两端分别安装于两个所述承载支架；及一第一声发射传感器，安装于所述第一承载支架；其中，所述第一声发射传感器能用来接收所述切割线材因断裂而甩在所述检测棒所发出的断线声音，以产生一第一声音异常信号。
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百度查询： 环球晶圆股份有限公司 切片设备及其断线检测装置
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