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申请/专利权人：武汉衡惯科技发展有限公司
摘要：本实用新型涉及一种MEMS加速度计；包括衬底层，所述衬底层上设置有第一锚区，还包括环形质量框和加速度测量单元，所述环形质量框通过弹簧梁连接第一锚区支承于所述衬底层上，所述加速度测量单元设于所述环形质量框内。本实用新型的加速度计中，采用环形质量框结构，可有效抵挡平面内的剧烈冲击，提高抗冲击功能以及抗高过载功能，保证测量精度。
主权项：1.一种MEMS加速度计，包括衬底层，所述衬底层上设置有第一锚区，其特征在于，还包括环形质量框和加速度测量单元，所述环形质量框通过弹簧梁连接第一锚区支承于所述衬底层上，所述加速度测量单元设于所述环形质量框内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉衡惯科技发展有限公司 一种MEMS加速度计
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