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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
摘要：本发明提供了石英坩埚及其制备方法、单晶炉，涉及单晶硅制备技术领域。方法包括：在模具表面依次铺设外层石英砂和内层石英砂；外层石英砂中，粒度介于50目至200目之间的石英砂的质量含量，大于等于外层石英砂的质量的90％；外层石英砂中，气泡包裹体的体积含量，大于等于外层石英砂的体积的6‰，小于等于10％；外层石英砂中，杂质的含量小于等于50ppm；内层石英砂中，粒度介于50目至200目之间的石英砂的质量含量，大于等于内层石英砂的质量的90％；内层石英砂中，气泡包裹体的体积含量小于等于内层石英砂的体积的5‰；内层石英砂中，杂质的含量小于等于40ppm。本申请大幅度降低了石英坩埚的生产成本。
主权项：1.一种石英坩埚的制备方法，其特征在于，包括：在模具表面依次铺设外层石英砂和内层石英砂；所述内层石英砂用于形成透明层；所述外层石英砂用于形成位于所述透明层外侧的气泡层；其中，所述外层石英砂中，粒度介于50目至200目之间的石英砂的质量含量，大于或等于所述外层石英砂的质量的90％；所述外层石英砂中，气泡包裹体的体积含量，大于或等于所述外层石英砂的体积的6‰，小于或等于10％；所述外层石英砂中，杂质的含量小于或等于50ppm；所述内层石英砂中，粒度介于50目至200目之间的石英砂的质量含量，大于或等于所述内层石英砂的质量的90％；所述内层石英砂中，气泡包裹体的体积含量小于或等于所述内层石英砂的体积的5‰；所述内层石英砂中，杂质的含量小于或等于40ppm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 石英坩埚及其制备方法、单晶炉
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