买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：中国恩菲工程技术有限公司

摘要：本发明公开一种多晶硅还原系统和多晶硅还原工艺，所述多晶硅还原系统包括还原炉、热水供给装置、第一换热器、第二换热器、第三换热器、第四换热器、管道混合器，第一换热器分别与还原炉、热水供给装置和第二换热器连接，第二换热器分别与还原炉、管道混合器和第一换热器连接，第三换热器分别与第一换热器和管道混合器连接，第四换热器分别与管道混合器和第二换热器连接。本发明的多晶硅还原系统通过换热器和热水供应装置的配合，能够使还原尾气中的热量逐级递减且被合理利用于多晶硅还原工艺中各个环节，充分利用了多晶硅还原工艺中产生的副热。

主权项：1.一种多晶硅还原系统，其特征在于，包括：还原炉，所述还原炉具有混合气供给口和还原尾气排出口，所述还原炉的炉壁具有冷却通道，所述冷却通道具有冷却水进口和冷却水出口；热水供给装置，所述热水供给装置具有与所述冷却水进口相连的供水口和与所述冷却水出口相连的回水口；第一换热器，所述第一换热器具有第一尾气进口、第一尾气出口、第一换热器进水口和第一换热器出水口，所述第一尾气进口与所述还原尾气排出口相连，所述第一换热器进水口与所述供水口相连；第二换热器，所述第二换热器具有第二尾气进口、第二尾气出口、混合气进口和混合气出口，所述第二尾气进口与所述第一尾气出口相连，所述混合气出口与所述混合气供给口相连；管道混合器，所述管道混合器具有三氯氢硅进口、氢气进口和混合气排出口，所述混合气排出口与所述第二换热器的混合气进口相连；第三换热器，所述第三换热器具有三氯氢硅入口、三氯氢硅出口、第三换热器进水口和第三换热器出水口，所述三氯氢硅出口与所述混合器的三氯氢硅进口相连，所述第三换热器进水口与所述第一换热器出水口相连，所述第三换热器出水口与所述回水口相连；第四换热器，所述第四换热器具有氢气供给口、氢气排出口、第四换热器尾气进口和第四换热器尾气出口，所述氢气排出口与所述混合器的氢气进口相连，所述第四换热器尾气进口与所述第二尾气出口相连；所述还原炉包括炉罩和底盘，所述冷却通道包括炉罩冷却通道和底盘冷却通道，所述炉罩冷却通道和所述底盘冷却通道分别具有所述冷却水进口和所述冷却水出口，所述炉罩冷却通道的冷却水进口和所述底盘的冷却水进口分别与所述供水口相连，所述炉罩冷却通道的冷却水出口和所述底盘的冷却水出口分别与所述回水口相连；还包括与所述供水口相连的热水循环泵，所述热水供给装置为闪蒸器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国恩菲工程技术有限公司 多晶硅还原系统和多晶硅还原工艺