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申请/专利权人：青岛旭芯互联科技研发有限公司;东旭科技集团有限公司
摘要：本公开提供了一种化学气相淀积机台的排气装置和化学气相淀积机台，排气装置包括：支管，支管包括第一部和第二部，第一部的进气端与化学气相淀积机台的反应腔的排气口连接，支管包括两个；第一波纹管，第一部的出气端与第二部的进气端通过可伸缩的第一波纹管连接；主管，主管的进气端与两个支管的第二部的出气端连接。本公开的排气装置和相应化学气相淀积机台通过第一波纹管连接支管的第一部和第二部，缓解了尾气气流对支管的冲击力，进而保证了两个支管与主管连接处受力均衡，避免了连接处漏气的问题。
主权项：1.一种化学气相淀积机台的排气装置，其特征在于，包括：支管1，所述支管1包括第一部2和第二部3，所述第一部2的进气端与化学气相淀积机台的反应腔5的排气口连接，所述支管1包括两个；第一波纹管6，所述第一部2的出气端与所述第二部3的进气端通过可伸缩的所述第一波纹管6连接；和主管4，所述主管4的进气端与两个所述支管1的所述第二部3的出气端连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛旭芯互联科技研发有限公司 东旭科技集团有限公司 化学气相淀积机台的排气装置和化学气相淀积机台
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