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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司

摘要：本申请涉及一种可调节测试装置。可调节测试装置用于检测待检测样品，可调节测试装置包括：基座、传感组件以及调节机构，传感组件包括沿第一方向间隔设置的第一传感器及第二传感器，第一传感器及第二传感器配合，用于检测待检测样品的预设参数；调节机构沿第二方向可滑动连接基座，以调节传感组件与基座的相对位置；调节机构还用于调节第一传感器与第二传感器之间的距离，第一方向与第二方向相交。可调节测试装置中第一传感器与第二传感器之间的距离可调，使得可适应不同尺寸的晶圆并对晶圆进行感测。

主权项：1.一种可调节测试装置，其特征在于，所述可调节测试装置用于检测待检测样品，所述可调节测试装置包括：基座；以及传感组件，所述传感组件包括沿第一方向间隔设置的第一传感器及第二传感器，所述第一传感器及所述第二传感器配合，用于检测待检测样品的预设参数；以及调节机构，所述调节机构沿第二方向可滑动连接所述基座，以调节所述传感组件与所述基座的相对位置；所述调节机构还用于调节所述第一传感器与所述第二传感器之间的距离，所述第一方向与所述第二方向相交；所述调节机构包括承载板以及间隔设置于所述承载板的第一滑动件及第二滑动件，所述第一滑动件可沿第三方向滑动连接所述承载板，所述第一滑动件用于承载所述第一传感器，所述第二滑动件可沿第四方向滑动连接所述承载板，所述第二滑动件用于承载所述第二传感器；当所述第一滑动件与所述第二滑动件相对所述承载板滑动，且沿第一方向相向运动时，所述第一传感器与所述第二传感器之间的距离减小；当所述第一滑动件与所述第二滑动件相对所述承载板滑动，且沿第一方向相背运动时，所述第一传感器与所述第二传感器之间的距离增大；其中，所述第一方向、所述第二方向、所述第三方向及所述第四方向两两相交；所述承载板包括端部两两相连的第一子板、第二子板及第三子板，所述第二子板与所述第三子板分别位于所述第一子板的相对两侧；所述第一子板沿第二方向延伸，所述第一子板背离所述第二子板的一端可滑动连接所述基座；所述第二子板沿第三方向延伸，所述第一滑动件沿第三方向可滑动连接所述第二子板；所述第三子板沿第四方向延伸，所述第二滑动件沿第四方向可滑动连接所述第三子板；所述第一子板与所述第二子板之间呈钝角设置，所述第一子板与所述第三子板呈钝角设置。

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百度查询： 深圳市森美协尔科技有限公司 可调节测试装置