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申请/专利权人：无锡唯因特数据技术有限公司
摘要：本申请公开了一种硅碇组合方法、装置和存储介质，涉及半导体制造技术领域，所述方法包括：按照预设周期测量单晶硅硅棒切方后形成的硅碇的长度；确定各个硅碇储存的货位位置；根据各个硅碇的长度和货位位置，对各个硅碇进行分组；对分组后的硅碇进行组合切片。解决了现有技术中耗时较长并且受工作人员经验影响确定得到的硅碇组合可能会导致硅碇剩余量较多存在浪费的问题，达到了可以根据各个硅碇的长度和货位位置进行组合，进而提高效率并减少材料浪费的效果。
主权项：1.一种硅碇组合方法，其特征在于，所述方法包括：按照预设周期测量单晶硅硅棒切方后形成的硅碇的长度；确定所述硅碇储存的货位位置；根据各个硅碇的长度和货位位置，对各个硅碇进行分组；对分组后的硅碇进行组合切片；所述根据各个硅碇的长度和货位位置，对各个硅碇进行分组，包括：根据各个硅碇的货位位置生成初始种群；获取当前种群中的每个个体的适应度值；根据轮盘赌算法以及计算得到的各个适应度值，生成新种群；对所述新种群进行遗传运算；若迭代次数未达到预设次数，则再次执行所述获取当前种群中的每个个体的适应度值的步骤；若迭代次数达到所述预设次数，则将遗传运算的运算结果输出为所述各个硅碇的分组；所述获取当前种群中的每个个体的适应度值，包括：对于每个个体，适应度值f为： 其中，w1、w2为权重系数，w1、w2＞0且w1+w2＝1，表示第i个硅碇在第x货架的第y行和第z列货位的硅碇长度，Lmin为硅片切片机的最小长度，xi、yi、zi分别表示第i个硅碇所在的货架号、货位行和货位列，d为货架间距惩罚值，N为种群个体长度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡唯因特数据技术有限公司 硅碇组合方法、装置和存储介质
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