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半自动晶圆表面检查机以及晶圆检查方法 

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申请/专利权人:柯尔微电子装备(厦门)有限公司

摘要:本申请涉及晶圆检查技术领域,具体公开一种半自动晶圆表面检查机以及晶圆检查方法。该半自动晶圆表面检查机包括机架,以及安装在机架上的直边产品箱、直边产品定位模组、圆形产品箱、巡边对位模组、机械手、目视宏观检模组和目视微观检模组。直边产品定位模组包括直边产品支撑机构、左定位件和右定位件。左定位件和右定位件设置于直边产品支撑机构的两侧。左定位件和右定位件受驱动而相互靠近以推移产品至设定位置,也能受驱动而相互远离以放开产品。机械手能搬运产品在直边产品箱、直边产品定位模组、圆形产品箱、巡边对位模组、目视宏观检模组和目视微观检模组之间移动。使用该检查机可以改善人工目视检测自动化程度低,检测效率低的状况。

主权项:1.一种半自动晶圆表面检查机,其特征在于,包括机架(1),以及安装在所述机架(1)上的直边产品箱(2)、直边产品定位模组(3)、圆形产品箱(4)、巡边对位模组(5)、机械手(6)、目视宏观检模组(7)和目视微观检模组(8);所述直边产品箱(2)具有用于放置直边产品料盒(9)的安装位;所述直边产品定位模组(3)包括直边产品支撑机构(301)、左定位件(302)和右定位件(303);所述左定位件(302)和所述右定位件(303)设置于所述直边产品支撑机构(301)的两侧;所述左定位件(302)具有左直面(3021);所述右定位件(303)具有右直面(3031);所述左直面(3021)和所述右直面(3031)相对并且相互平行;所述左定位件(302)和所述右定位件(303)受驱动而相互靠近以推移所述直边产品支撑机构(301)上的直边产品至设定位置,也能受驱动而相互远离以放开直边产品;所述机械手(6)配置为能搬运产品在所述直边产品箱(2)、所述直边产品定位模组(3)、所述目视宏观检模组(7)和所述目视微观检模组(8)之间移动;所述机械手(6)还配置为能搬运产品在所述圆形产品箱(4)、所述巡边对位模组(5)、所述目视宏观检模组(7)和所述目视微观检模组(8)之间移动。

全文数据:

权利要求:

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