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气体质量流量控制器及方法 

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申请/专利权人:北京七星华创流量计有限公司

摘要:本发明提供一种气体质量流量控制器及方法,第一压力传感器和第二压力传感器分别检测喉口前端流道的压力和喉口后端流道的压力;第一控制阀和第二控制阀分别调节喉口前端流道和喉口后端流道的气体压力;控制单元,用于在喉口前端流道的压力和喉口后端流道的压力的比值大于设定临界值时,控制第一控制阀的开度,调节喉口前端流道的气体压力;比值小于等于设定临界值时,控制第二控制阀或第一控制阀的开度,调节喉口后端流道或喉口前端流道的气体压力,使喉口后端流道或者喉口前端流道的压力维持在一预设压力值,并控制第一控制阀或第二控制阀调节喉口前端流道或喉口后端流道的气体压力。本方案可以解决现有技术的控制算法复杂,及流量跳变的问题。

主权项:1.一种气体质量流量控制器,其特征在于,包括:气体通道,所述气体通道包括喉口、喉口前端流道和喉口后端流道;第一压力传感器和第二压力传感器,分别检测所述喉口前端流道的压力和所述喉口后端流道的压力;第一控制阀和第二控制阀,分别设置于所述喉口前端流道和所述喉口后端流道上,用于分别调节所述喉口前端流道和所述喉口后端流道的气体压力;控制单元,用于计算所述喉口前端流道的压力和所述喉口后端流道的压力的比值,在所述比值大于设定临界值时,控制所述第一控制阀的开度,调节所述喉口前端流道的气体压力,使所述气体通道输出的气体流量值达到设定流量值;在所述比值小于等于所述设定临界值时,控制所述第二控制阀的开度,调节所述喉口后端流道的气体压力,使所述喉口后端流道的压力维持在第一预设压力值,并控制所述第一控制阀调节所述喉口前端流道的气体压力,使所述气体通道输出的气体流量值达到所述设定流量值;或者,控制所述第一控制阀的开度,调节所述喉口前端流道的气体压力,使所述喉口前端流道的压力维持在第二预设压力值,并控制所述第二控制阀调节所述喉口后端流道的气体压力,使所述气体通道输出的气体流量值达到所述设定流量值。

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