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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明提供了一种紫外光固化机台、控制方法，以及存储介质。所述紫外光固化机台包括：工艺腔室，包括石英窗、温控模块和压控模块，其中，所述石英窗用于封闭所述工艺腔室，并允许紫外光穿过所述石英窗照射所述工艺腔室内的样品，以对其进行紫外光固化工艺，所述温控模块和所述压控模块用于在对所述样品的所述紫外光固化工艺中提供对应的第一温度和第一压强的工艺环境，并在对所述石英窗的渗氢工艺中提供对应的第二温度和第二压强的工艺环境；以及氢气管道，连接所述工艺腔室，用于在对所述石英窗的渗氢工艺中，向所述工艺腔室中提供氢气。
主权项：1.一种紫外光固化机台，其特征在于，包括：工艺腔室，包括石英窗、温控模块和压控模块，其中，所述石英窗用于封闭所述工艺腔室，并允许紫外光穿过所述石英窗照射所述工艺腔室内的样品，以对其进行紫外光固化工艺，所述温控模块和所述压控模块用于在对所述样品的所述紫外光固化工艺中提供对应的第一温度和第一压强的工艺环境，并在对所述石英窗的渗氢工艺中提供对应的第二温度和第二压强的工艺环境；以及氢气管道，连接所述工艺腔室，用于在对所述石英窗的渗氢工艺中，向所述工艺腔室中提供氢气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 一种紫外光固化机台、控制方法及存储介质
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