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申请/专利权人：江苏兴启航新材料科技有限公司
摘要：本发明公开了一种可穿戴柔性电子器件的蚀刻设备，包括：去氧化组件、充电组件、涂胶组件、蚀刻组件、除胶组件、输送组件和支架，去氧化组件、充电组件、涂胶组件、蚀刻组件和除胶组件分别设置在支架上；输送组件，包括：车架、第一动力源、第二动力源、四个轨道轮、四个齿轮、托盘、密封条、多个吸盘和多个第四直线执行机构；支架，包括：二个撑腿、二个齿条、二个导轨、多个固定梁和多个管箍。由此，能够提升可穿戴柔性电子器件的蚀刻精度和加工效率。
主权项：1.一种可穿戴柔性电子器件的蚀刻设备，其特征在于，包括：去氧化组件、充电组件、涂胶组件、蚀刻组件、除胶组件、输送组件和支架，其中，所述去氧化组件、所述充电组件、所述涂胶组件、所述蚀刻组件和所述除胶组件分别设置在所述支架上；所述输送组件，包括：车架、第一动力源、第二动力源、四个轨道轮、四个齿轮、托盘、密封条、多个吸盘和多个第四直线执行机构，其中，四个所述轨道轮中的两个设置在所述车架的一侧，四个所述轨道轮中的另外两个设置在所述车架的另一侧，四个所述车轮中的两个设置在所述车架的一侧，四个所述齿轮中的另外两个设置在所述车架的另一侧；所述托盘设置在所述车架的上方，所述第四直线执行机构设置在所述车架的下方，所述第四直线执行机构的固定部分和所述车架相连，所述第四直线执行机构的活动端贯穿所述车架并和所述托盘相连；所述吸盘设置在所述托盘远离所述车架的一面上，所述密封条设置在所述托盘的边缘处；所述第一动力源和所述第二动力源分别设置在所述车架上，所述第一动力源的动力输出端和所述第二动力源的动力输入端相连，所述第二动力源的动力输出端和所述齿轮的转轴啮合；所述支架，包括：二个撑腿、二个齿条、二个导轨和多个固定梁，其中，所述齿条、所述导轨和所述导轨相互平行设置，所述齿条的两端、所述导轨的两端和所述固定梁的两端分别与二个所述撑腿相连；所述轨道轮设置在所述导轨上，所述齿轮设置在所述齿条上并和所述齿条啮合。
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权利要求：
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