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申请/专利权人：苏州鉴微传感科技有限公司
摘要：本发明公开了一种MEMS微镜、及其阻尼控制方法、系统及介质，所述方法包括以下步骤：采用双传感器模组监测微镜本体的运动状态及振动状态，根据振动状态反馈振动信号；根据反馈的振动信号计算振动控制力，基于振动控制力对微镜本体进行电磁阻尼线圈驱动，基于电磁阻尼线圈驱动对微镜本体所受振动力进行抵消；本发明能够基于内部阻尼提高微镜的响应速度和稳定性，基于电磁阻尼的动态控制方案实现微镜不同振动情况下的振动误差抑制，最终减小MEMS微微镜的振动幅度，进一步提高微镜的精度和响应速度，弥补现有技术缺陷，具有较高的应用价值。
主权项：1.一种MEMS微镜，其特征在于，包括：微镜本体及设置于所述微镜本体上的内部阻尼和外部阻尼。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州鉴微传感科技有限公司 MEMS微镜、及其阻尼控制方法、系统及介质
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