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申请/专利权人：源卓微纳科技(苏州)股份有限公司
摘要：一种内层对位的监控方法，设定基准PE阈值和差值PE阈值，依据获得的对位点的实际位置，获得当前工件对应的PE值，判断当前工件对应的PE值是否符合基准PE阈值范围，若所述PE值在基准PE阈值范围内，则存储所述PE值，继续加工；若所述PE值超出基准PE阈值范围，则获取所述PE值与前一工件对应的PE值的差值，继续判断所述差值是否符合差值PE阈值范围。提高了生产流程的流畅性，避免累积的PE超限导致生产中断的误判。
主权项：1.一种内层对位的监控方法，其特征在于：设定基准PE阈值和差值PE阈值，依据获得的对位点的实际位置，获得当前工件对应的PE值，判断当前工件对应的PE值是否符合基准PE阈值范围，若所述PE值在基准PE阈值范围内，则存储所述PE值，继续加工；若所述PE值超出基准PE阈值范围，则获取所述PE值与前一工件对应的PE值的差值，继续判断所述差值是否符合差值PE阈值范围。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 源卓微纳科技(苏州)股份有限公司 一种内层对位的监控方法
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