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申请/专利权人：砺铸智能设备(天津)有限公司;唐人制造(嘉善)有限公司
摘要：一种采用倾斜晶圆台和倾斜转塔对晶圆片分选的系统和工艺，所述系统包括第一晶圆台，用于容纳具有所述数量的第一晶圆架，并且所述第一晶圆台相对于水平面以第一角度倾斜；第二晶圆台可接受若干晶粒并与水平面平行放置；所述转塔位于所述第一晶圆台和第二晶圆台之间，所述转塔相对于所述水平面呈第二角度倾斜，所述转塔具有若干头，用于同时拾取、保留和放置晶粒，该系统还包括放置在第一晶圆台和第二晶圆台之间的检查单元，用于检查由转塔的头部从第一晶圆台拾取的晶粒，通过使用角度定位的倾斜旋转转塔，一步式将晶片从非水平位置转移至水平位置，方便收集或处理水平放置的晶片，且节省操作空间和容易进行维护。
主权项：1.一种采用倾斜晶圆台和倾斜转塔对晶圆片分选的系统，其特征在于包括第一晶圆台、第二晶圆台、倾斜旋转转塔、检查单元、拒绝单元，所述第一晶圆台相对于水平面呈第一倾斜角度设置，所述第一晶圆台上设置有容纳具有多个晶片的第一晶圆架，所述第二晶圆台呈水平状态设置在水平面上，所述第二晶圆台上设置有第二晶圆架，所述第一晶圆台与所述第二晶圆台之间呈第二倾斜角度设置倾斜旋转转塔，所述旋转转塔的外圈边缘上呈间隔排列设置安装多个转塔头部，所述第一晶圆台与所述第二晶圆台之间设置有检查单元和拒绝单元。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 砺铸智能设备(天津)有限公司 唐人制造(嘉善)有限公司 一种采用倾斜晶圆台和倾斜转塔对晶圆片分选的系统和工艺
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