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发光二极管及其制备方法 

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申请/专利权人:京东方华灿光电(浙江)有限公司

摘要:本公开提供了一种发光二极管及其制备方法。发光二极管包括:衬底、外延结构、银镜结构、绝缘结构、电极结构。绝缘结构包括第一绝缘层和第二绝缘层,第一绝缘层和第二绝缘层在银镜结构处开设第一绝缘层通孔和第二绝缘层通孔,第一绝缘层通孔和第二绝缘层通孔一次成型。避免了相关技术中开设第二绝缘层通孔时可能导致已经成型的第一绝缘层通孔再次腐蚀,从而使得第一绝缘层向通孔两侧收缩,可能导致电极结构短路的问题,提高了发光二极管的可靠性。同时,采用一次成型制作第一绝缘层通孔和第二绝缘层通孔,简化了制作工艺。

主权项:1.一种发光二极管,其特征在于,所述发光二极管包括:衬底101、外延结构10、银镜结构20、绝缘结构30和电极结构40;所述外延结构10位于所述衬底101上,所述外延结构10开设有台阶结构117,所述台阶结构117的台阶面位于所述外延结构10内;所述外延结构10还开设有隔离槽116,所述隔离槽116底部位于所述衬底101表面;所述银镜结构20位于所述外延结构10表面;所述绝缘结构30包覆所述银镜结构20、所述隔离槽116和所述台阶结构117;所述电极结构40穿过所述绝缘结构30与所述外延结构10连接;所述绝缘结构30包括第一绝缘层109和第二绝缘层110,所述第一绝缘层109和所述第二绝缘层110在所述银镜结构20处开设第一绝缘层通孔113和第二绝缘层通孔114,所述第一绝缘层通孔113和所述第二绝缘层通孔114一次成型。

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