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申请/专利权人：苏州芯镁信电子科技有限公司
摘要：本申请公开了一种热导气体传感器、制备方法及气体热导率检测方法，包括开设有悬空槽的衬底和至少部分悬空设置于所述悬空槽上的温场层，所述温场层包括间隔设置的恒温热源和至少两个测温单元；所述悬空槽用于容纳待测气体，所述至少两个测温单元中的至少部分测温单元与所述恒温热源间的间距非等距设置。本申请采用不对称温场测量技术，通过在悬空设置的温场层中将至少两个测温单元与恒温热源非等距设置，测量悬空槽中待测气体的温场，能够通过该温场中各等温线的漂移计算该待测气体的热导率，有效消除环境温度带来的干扰，无需温度补偿，能够大大提升该热导气体传感器的检测灵敏度和检测精度。
主权项：1.一种热导气体传感器，其特征在于，包括开设有悬空槽的衬底和至少部分悬空设置于所述悬空槽上的温场层，所述温场层包括间隔设置的恒温热源和至少两个测温单元；所述悬空槽用于容纳待测气体，所述至少两个测温单元中的至少部分测温单元与所述恒温热源间的间距非等距设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州芯镁信电子科技有限公司 一种热导气体传感器、制备方法及气体热导率检测方法
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