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申请/专利权人：知光量芯(苏州)半导体有限公司
摘要：本发明公开了一种夹层石墨烯量子点光电探测器及其制备方法，属于光电探测技术领域。本发明公开的夹层石墨烯量子点光电探测器由复合薄膜纳米沟槽阵列、金属源漏电极和量子点构成；所述复合薄膜纳米沟槽阵列包括纳米沟槽阵列、覆形于所述纳米沟槽阵列表面的金属反射层和覆形于所述金属反射层上方的石墨烯层；所述金属源漏电极沉积于所述复合薄膜纳米沟槽阵列的沟槽两端；所述量子点填充于所述复合薄膜纳米沟槽阵列的沟槽中间。本发明公开的夹层石墨烯量子点光电探测器具有超高的响应度和外量子效率，其响应度达到1×107AW，其外量子效率达到9×105％；以及超低的光电响应时间，其响应时间达到0.61ms。
主权项：1.一种夹层石墨烯量子点光电探测器，其特征在于，所述光电探测器由复合薄膜纳米沟槽阵列、金属源漏电极和量子点构成；所述复合薄膜纳米沟槽阵列包括纳米沟槽阵列、位于所述纳米沟槽阵列表面的金属反射层和位于所述金属反射层上方的石墨烯层；所述金属源漏电极沉积于所述复合薄膜纳米沟槽阵列的沟槽两端；所述量子点填充于所述复合薄膜纳米沟槽阵列的沟槽中间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 知光量芯(苏州)半导体有限公司 一种夹层石墨烯量子点光电探测器及其制备方法
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