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申请/专利权人：里什蒙国际公司
摘要：一种在制造晶片10中制造多个机械谐振器100的方法，该谐振器旨在装配至钟表的调整构件，所述方法包括以下步骤：a根据参考规格在至少一个参考晶片中制造多个谐振器，这种制造包括在参考晶片上或上方形成谐振器的图案的至少一个光刻步骤以及使用该图案在参考板中进行机加工的步骤；b针对所述至少一个参考板，建立表明谐振器的相对于平均刚度值的刚度分散的图；c将该图划分成多个区块，并且针对所述区块中的至少一个区块确定为了减少分散而要对谐振器的尺寸进行的校正；d对用于光刻步骤的参考规格进行修改，以在光刻步骤中针对所述至少一个区块进行尺寸的校正；e使用修改的规格在制造晶片中制造谐振器。
主权项：1.一种在制造晶片10中制造多个机械谐振器100的方法，所述多个机械谐振器旨在装备钟表的调节构件，所述方法包括以下步骤：a根据参考规格在至少一个参考晶片中制造多个机械谐振器，该制造步骤包括：在所述至少一个参考晶片上或上方形成所述多个机械谐振器的图案的至少一个光刻步骤以及穿过所述图案进入所述至少一个参考晶片进行机加工的步骤；b针对所述至少一个参考晶片，建立表明所述多个机械谐振器的相对于平均刚度值的刚度分散的图；c将所述图划分成多个区块，并且针对所述多个区块中的至少一个区块确定为了减少所述刚度分散而要对所述多个机械谐振器的尺寸进行的校正；d对用于所述至少一个光刻步骤的所述参考规格进行修改，以在所述至少一个光刻步骤期间针对所述至少一个区块实现对所述尺寸的校正；e使用修改的规格在制造晶片上制造谐振器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 里什蒙国际公司 在晶片中制造多个谐振器的方法
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