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用于检验至少一个测试物体的检验系统和方法 

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申请/专利权人:卡尔蔡司工业测量技术有限公司

摘要:用于检验至少一个测试物体的检验系统和方法。本发明涉及一种用于检验至少一个测试物体(10‑x)的检验系统(1),该检验系统包括:至少一个反射式x射线管(2‑x),被配置为发射x射线辐射(4);至少一个x射线检测器(6),被配置为捕获射线照片图像(7),其中,该至少一个反射式x射线管(2‑x)和该至少一个x射线检测器(6)以一种方式被配置和布置,以使得从该至少一个反射式x射线管(2‑x)发射的x射线辐射(4)的仅高分辨率部分(4‑x)用于对该至少一个测试物体的至少一个部分(18‑x)进行射线照相。进一步地,本发明涉及一种用于检验至少一个测试物体(10‑x)的方法。

主权项:1.一种用于检验至少一个测试物体10-x的检验系统1,该检验系统包括:至少一个反射式x射线管2-x,被配置为发射x射线辐射4,至少一个x射线检测器6,被配置为捕获射线照片图像7,其中,该至少一个反射式x射线管2-x和该至少一个x射线检测器6以一种方式被配置和布置,以使得从该至少一个反射式x射线管2-x发射的x射线辐射4的仅高分辨率部分4-x用于对该至少一个测试物体的至少一个部分进行射线照相,其特征在于,该检验系统1包括至少两个反射式x射线管2-x,其中,该至少两个反射式x射线管2-x和该至少一个x射线检测器6以一种方式被配置和布置,以使得从该至少两个反射式x射线管2-x中的至少一些发射的x射线辐射4的高分辨率部分4-x被成像在该至少一个x射线检测器6的不同侧上,其中所述高分辨率部分4-x对应于观察到较小焦斑大小的角度,还包括分别位于所述至少一个x射线检测器6的不同侧的两组束屏蔽件22,其中在所述至少一个x射线检测器6的前侧的一组束屏蔽件22相对于在所述至少一个x射线检测器6的后侧的另一组束屏蔽件22偏移一步使得前侧接收x射线辐射4而后侧上的x射线辐射被相应的束屏蔽件22阻挡,并且反之亦然。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 用于检验至少一个测试物体的检验系统和方法

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