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申请/专利权人：歌尔微电子股份有限公司
摘要：本发明公开了一种MEMS器件、麦克风及电子产品，MEMS器件包括：第一线路板，第一线路板内设有第一腔体，第一线路板上设有第一声学通孔，第一声学通孔与第一腔体连通；第二线路板，第二线路板设在第一线路板上，且第二线路板与第一线路板之间配合形成第二腔体，第二腔体与第一声学通孔连通，第二线路板上设有与第二腔体连通的第二声学通孔；防水膜，防水膜设在第二线路板与第二声学通孔相对应的位置处，且防水膜至少覆盖第二声学通孔。本发明的MEMS器件，有效减少MEMS器件的整体体积，有利于小型化、轻量化设计。同时有效增大MEMS器件的后腔体积，有利于进一步提升MEMS器件的声学性能。并且通过在第二线路板上设置防水膜，起到防水、防异物的作用。
主权项：1.一种MEMS器件100，其特征在于，包括：第一线路板10，所述第一线路板10内设有第一腔体11，所述第一线路板10上设有第一声学通孔12，所述第一声学通孔12与所述第一腔体11连通；第二线路板20，所述第二线路板20设在所述第一线路板10上，且所述第二线路板20与所述第一线路板10之间配合形成第二腔体21，所述第二腔体21与所述第一声学通孔12连通，所述第二线路板20上设有与所述第二腔体21连通的第二声学通孔22；防水膜30，所述防水膜30设在所述第二线路板20与所述第二声学通孔22相对应的位置处，且所述防水膜30至少覆盖所述第二声学通孔22。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 歌尔微电子股份有限公司 MEMS器件、麦克风及电子产品
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