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申请/专利权人：合肥睿翼创智技术开发有限公司
摘要：主控机负责本发明的一种无掩膜光刻的求交直接帧化方法、设备及存储介质，涵盖了一种高效的方法、相应的设备及可实施该方法的存储介质。方法依据空间光调制器像方的具体倾斜角度、尺寸规格及其配置的分辨率，构建出帧化矩阵；通过沿着预设的扫描路径，按照给定的扫描步长逐步位移帧化矩阵，通过判定待曝光条带图形对帧化矩阵内的像素点坐标包含关系，确定像素点的开关，完成帧化过程。本发明依赖待曝光条带图形与帧化矩阵像素点坐标之间的包含关系，进行帧图像的构造，减少了中间栅格化条带图形，倾斜条带图像处理步骤，减少了中间数据的生成和传输时间，也提高了单次曝光中从图形变换到开始曝光过程的等待时间。本发明实施方法思路简单清晰，易于实现。
主权项：1.一种无掩膜光刻的求交直接帧化方法，其特征在于，包括根据扫描倾斜角、配置分辨率和像方像素宽度构建帧化矩阵，按扫描方向和扫描步长逐帧改变帧化矩阵，判断待曝光条带图形内的多边形与帧化矩阵内的像素点坐标的包含关系，确定相应像素点的开关，完成帧化过程；具体包括以下步骤，S1：根据帧化起点位置，构造帧化起点位置的帧化矩阵；S2：通过判定帧化矩阵内像素坐标与待曝光条带图形之间的包含关系，确定当前位置下所有像素点的开关，得到帧图像；S3：更新帧化矩阵；S4：重复上述S2、S3过程，直至帧化结束。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥睿翼创智技术开发有限公司 无掩膜光刻的求交直接帧化方法、设备及存储介质
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