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微透镜阵列扩散片结构及其制备方法 

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申请/专利权人:武汉大学

摘要:本发明公开了一种微透镜阵列扩散片结构及其制备方法,扩散片表面为100%填充率的凸透镜微透镜阵列,微透镜阵列子透镜轮廓形状统一、各子透镜顶点间相对高度在一定范围内随机分布,最小结构单元边界呈周期性。该扩散片的设计方法包括微透镜阵列基本单元设计,微透镜阵列高度随机分布处理,利用设计自由、易于加工的3D光刻设备制备微透镜阵列扩散片模板,以及可选的利用纳米压印技术将扩散片结构转印到其他压印材料上。该结构可使透射过其的激光光束在一定角度内传播,并利用其高度随机分布的特点消除干涉条纹,提高光斑能量分布的均匀性。

主权项:1.一种微透镜阵列扩散片结构,其特征在于:扩散片表面为100%填充率的凸透镜微透镜阵列;所述凸透镜微透镜阵列由若干最小结构单元构成;所述最小结构单元内部的若干子透镜轮廓形状统一;各子透镜顶点间相对高度在相对范围内随机分布;所述最小结构单元的边界呈周期性。

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权利要求:

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