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一种电子级氢氟酸的制备方法 

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申请/专利权人:天津大学;滨化集团股份有限公司;大晟芯材料科技(山东)有限公司

摘要:本发明涉及一种电子级氢氟酸的制备方法;本发明使用微通道反应器进行氟气氧化反应,大大减少了氟气使用量,降低了生产过程中的安全隐患,并且通过微通道反应器增强氧化反应中气液两相传质效果,进一步提升除杂效果,提高产品质量;精馏过程加入多效精馏工艺,不仅可以实现热量的二次利用,同时节约了塔底高温加热介质的使用,有效降低了能耗;在改性液中,DMF作为溶剂,硝酸钴提供钴离子,乙烯基胍胺提供胍官能团和氨基;氨气和丙硫醇作为等离子气体,在膜表面引入氨基和硫醇基团,这些基团有助于改善膜的选择性,能够有效地分离金属离子和非金属离子,以及原料中的酸性杂质。

主权项:1.一种电子级氢氟酸的制备方法,其特征在于,包括以下具体步骤:1将原料工业无水氟化氢液体从原料贮罐中泵入微通道反应器,同时微通道反应器入口通入高纯氧化剂进行氧化反应;2微通道反应器出口得到夹带少量氧化剂杂质的无水氟化氢混合物,将其送入到一级精馏塔中脱除轻组分杂质,一级精馏塔塔顶设置分凝器;3一级精馏塔塔釜采出无水氢氟酸液体,将其输送到二级精馏塔中脱除重组分杂质,二级精馏塔塔顶不设置冷凝器,塔底设置双效再沸器,二级精馏塔塔顶蒸汽作为一级精馏塔塔釜再沸器热源,蒸汽经换热后得到无水氢氟酸液体,部分回流到二级精馏塔,其余作为无水氢氟酸产品采出,经过滤后,用高纯水进行调配可得到最终电子级氟化氢产品。

全文数据:

权利要求:

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