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申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司
摘要：本申请实施例公开了一种MEMS压电谐振器，该MEMS压电谐振器包括衬底和器件层。其中，衬底具有第一空腔；器件层设置于衬底上，器件层包括耦合结构、能量传递结构、连接杆、至少一对锚点和至少一对谐振体，谐振体通过能量传递结构与耦合结构连接，锚点通过连接杆与耦合结构连接，每对锚点关于耦合结构对称设置，每对谐振体关于耦合结构对称设置，耦合结构为中空环状结构。本方案可以提升MEMS压电谐振器的Q值。
主权项：1.一种MEMS压电谐振器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底具有第一空腔；器件层，所述器件层设置于所述衬底上，所述器件层包括耦合结构、能量传递结构、连接杆、至少一对锚点和至少一对谐振体，所述谐振体通过所述能量传递结构与所述耦合结构连接，所述锚点通过所述连接杆与所述耦合结构连接，每对所述锚点关于所述耦合结构对称设置，每对所述谐振体关于所述耦合结构对称设置，所述耦合结构为中空环状结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 MEMS压电谐振器
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