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申请/专利权人：复远芯(上海)科技有限公司
摘要：本申请提供一种压电谐振式压力传感器、补偿系统及制备方法，涉及电子核心产业中敏感元件及传感器制造技术领域。压电谐振式压力传感器包括压电组件、谐振组件以及压力敏感组件。谐振组件设有谐振腔。压力敏感组件设于谐振组件背离压电组件的一侧，压力敏感组件中的压力敏感薄膜、第一氧化层与谐振衬底配合形成压力腔，压力腔的开口背离谐振组件，压力腔用于接收待检测压力。其中，压力敏感组件封闭谐振腔的开口，沿谐振组件朝向压力敏感组件的方向，至少部分谐振腔的投影落入压力腔的投影范围内。根据本申请示例提供的压电谐振式压力传感器，可以扩大压电谐振式压力传感器测量压力的范围，进而扩大压电谐振式压力传感器的使用范围。
主权项：1.一种压电谐振式压力传感器，应用于电子核心产业，其特征在于，包括：压电组件，直接或间接地与外接电路连接；谐振组件，背离所述压电组件的一侧设有谐振腔，所述谐振腔的开口背离所述压电组件设置；压力敏感组件，设于所述谐振组件背离所述压电组件的一侧，所述压力敏感组件包括压力敏感薄膜、第二埋氧层以及谐振衬底，所述第二埋氧层设于所述压力敏感薄膜与所述谐振衬底之间，所述压力敏感薄膜、第二埋氧层以及谐振衬底配合形成压力腔，所述压力腔的开口背离所述谐振组件设置，所述压力腔用于接收待检测压力；其中，所述压力敏感组件封闭所述谐振腔的开口，沿所述谐振组件朝向所述压力敏感组件的方向，至少部分所述谐振腔的投影落入所述压力腔的投影范围内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 复远芯(上海)科技有限公司 压电谐振式压力传感器、补偿系统及制备方法
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