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一种毛细管远传膜盒传感器高真空度充油装置及工作方法 

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申请/专利权人:麦克传感器股份有限公司

摘要:本发明属于传感器技术领域,涉及一种毛细管远传膜盒传感器高真空度充油装置及工作方法。包括磁力离心泵、蠕动泵和真空回油部件,磁力离心泵和蠕动泵用于将硅油重入毛细管远传膜盒传感器的毛细管内,真空回油部件用于对毛细管远传膜盒传感器进行抽真空,保证毛细管内部无空气残留,磁力离心泵、蠕动泵和真空回油部件用于实现超长毛细管远传膜盒传感器的抽真空和充油作业,充油一致性好,提高了充油的质量。磁力离心泵、蠕动泵和真空回油部件均连接控制系统,控制系统用于控制磁力离心泵、蠕动泵和真空回油部件的启停,有利于装置的自动化控制,提高作业效率。

主权项:1.一种毛细管远传膜盒传感器高真空度充油装置,其特征在于,包括磁力离心泵1和真空回油部件3,磁力离心泵1输出端连接蠕动泵2输入端,蠕动泵2的输出端用于连接毛细管远传膜盒传感器14的输入端,真空回油部件3的输入端用于连接毛细管远传膜盒传感器14的输出端;磁力离心泵1、蠕动泵2和真空回油部件3均连接控制系统11,控制系统11用于控制磁力离心泵1、蠕动泵2和真空回油部件3的启停。

全文数据:

权利要求:

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