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申请/专利权人：武汉市汇达材料科技有限公司
摘要：本发明涉及金刚石工具制造技术领域，具体公开了一种耐腐蚀的金刚石修整盘及其制备方法。该金刚石整修盘包括修整盘基体、钎焊层、铜镀层、镍铜锰镀层、氟烷基硅烷处理层以及多个金刚石颗粒，修整盘基体的一侧设置有所述钎焊层，多个金刚石颗粒按一定间距排布，每个金刚石颗粒部分设置在所述钎焊层内，钎焊层的上表面自下而上依次沉积有铜镀层、镍铜锰镀层和氟烷基硅烷处理层。镍铜锰镀层的菜花状结构与氟烷基硅烷处理层的协同作用，可以得到高硬度、高耐蚀性的超疏水表面，减缓了修整抛光垫过程中钎焊层的腐蚀速率，进而减少了金刚石颗粒的脱落概率，保证了金刚石的锋利度和使用寿命。
主权项：1.一种耐腐蚀的金刚石修整盘，其特征在于，包括修整盘基体（1）、钎焊层（2）、铜镀层（3）、镍铜锰镀层（4）、氟烷基硅烷处理层（5）以及多个金刚石颗粒（6），所述修整盘基体（1）的一侧设置有所述钎焊层（2），多个所述金刚石颗粒（6）按一定间距排布，每个所述金刚石颗粒（6）部分设置在所述钎焊层（2）内，所述钎焊层（2）的上表面自下而上依次沉积有所述铜镀层（3）、所述镍铜锰镀层（4）和所述氟烷基硅烷处理层（5），所述镍铜锰镀层（4）中镍、铜、锰质量比为（92~93.5）：（6~7）：（0.5~1）；所述氟烷基硅烷处理层（5）中氟烷基硅烷包括1H,1H,2H,2H-全氟辛基三乙氧基硅烷，1H,1H,2H,2H-全氟癸基三乙氧基硅烷，1H,1H,2H,2H-全氟十七烷三甲基氧硅烷和全氟十八烷基三乙氧基硅烷中的任一种。
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