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多模穴测试座结构 

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申请/专利权人:无锡艾方芯动自动化设备有限公司

摘要:本申请涉及晶片测试装置的领域,尤其是涉及一种多模穴测试座结构,其包括金属载盘,承载着多个待测晶片;承载组件,包括载台,金属载盘以接触式安装该载台上;压合组件,包括压合座,压合座位于压合组件底部;压合座面对载台的表面嵌设网状密封垫,网状密封垫于压合座表面形成多个网格区,压合座另设有多个定位柱,金属载盘上也设有多个对应孔,在操作压合座压合于载台上,定位柱位于对应孔内,且由网状密封垫与金属载盘接触,让每个网格区对应一个待测晶片且形成一独立的封闭空间。本申请具有尽可能保证晶片测试的精度的效果。

主权项:1.一种多模穴测试座结构,包括:金属载盘3,承载着多个待测晶片6;承载组件1,包括载台11,所述金属载盘3以接触式安装该载台11上;压合组件2,包括压合座21,所述压合座21位于所述压合组件2底部;其特征在于:所述压合座21面对所述载台11的表面嵌设网状密封垫4,所述网状密封垫4于所述压合座21表面形成多个网格区213,所述压合座21另设有多个定位柱211,所述金属载盘3上也设有多个对应孔31,在操作所述压合座21压合于所述载台11上,所述定位柱211位于所述对应孔31内,且由所述网状密封垫4与所述金属载盘3接触,让每个所述网格区213对应一个待测晶片6且形成一独立的封闭空间;所述压合座21表面形成网状沟槽212,所述网状密封垫4嵌设于所述网状沟槽212内;所述金属载盘3包括外框32和多个承载件33,多个所述承载件33均设置在所述外框32内,所述承载件33的侧壁上间隔设有多条连接条38,所述承载件33的侧壁上间隔开设有多条供所述连接条38卡接的连接槽36,所述外框32内设有用于封闭所述承载件33之间间隙的密封件34。

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权利要求:

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