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晶圆图的辨识方法与计算机可读取记录介质 

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申请/专利权人:力晶积成电子制造股份有限公司

摘要:本发明提供一种晶圆图的辨识方法,包括以下步骤:获得至少一待辨识晶圆的晶圆图;对晶圆图与对照图样进行图像处理操作,其中图像处理操作包括:对晶圆图与对照图样分别进行卷积运算,撷取卷积后的晶圆图的主要特征,并且基于卷积后的对照图样计算权重分配;以及计算处理后的晶圆图与对照图样的相似度以辨识晶圆图。本发明亦提供一种记录上述辨识方法的计算机可读取记录介质。

主权项:1.一种晶圆图的辨识方法,包括:获得至少一待辨识晶圆的晶圆图;对该晶圆图与对照图样进行图像处理操作,其中该图像处理操作包括:对该晶圆图与该对照图样分别进行卷积运算,撷取卷积后的该晶圆图的主要特征,并且基于卷积后的该对照图样计算权重分配;以及计算处理后的该晶圆图与该对照图样的相似度以辨识该晶圆图,其中,该晶圆图包括失效位与正常位,所计算的权重分配包括该对照图样的缺陷区域权重分配和非缺陷区域权重分配,并且其中,计算处理后的该晶圆图与该对照图样的该相似度以辨识该晶圆图的步骤包括:决定加权值W;以及计算该缺陷区域权重分配中位置对应处理后的该晶圆图的所述失效位的第一总和值,且该第一总和值乘上加权值W以获得失效位相似度;计算该非缺陷区域权重分配中位置对应处理后的该晶圆图的所述正常位的第二总和值,且该第二总和值乘上1-W以获得正常位相似度;以及将该失效位相似度和该正常位相似度加总以获得该待辨识晶圆图和该对照图样的该相似度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 力晶积成电子制造股份有限公司 晶圆图的辨识方法与计算机可读取记录介质

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