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申请/专利权人：广州奥松电子股份有限公司
摘要：本发明涉及传感器及其部件的技术领域，公开了一种固态隔膜，包括衬底和贵金属层，所述贵金属层交替复合在衬底上，所述贵金属层包括至少两种由单一贵金属原子组成的贵金属原子层；所述贵金属原子层通过原子层层积技术沉积于衬底上，形成上、下层叠且紧密结合的贵金属层，相邻两个材质不同的贵金属原子层保持各自原有的贵金属特性。本发明通过原子层沉积技术实现贵金属催化层的形成，其制备的贵金属层结构厚度可控，不影响气体的透过率，且催化活性极高，响应速度快，同时贵金属层在衬底上的附着优良，能在长期高温环境和高浓度电解液下测试，且催化活性保持不变，大幅提高了传感器的使用稳定性，延长了使用寿命。
主权项：1.一种固态隔膜的制备方法，其特征在于，包括用于作为衬底的衬底材料和用于作为贵金属层的贵金属源前驱体，所述贵金属源前驱体采用原子层沉积技术生长于衬底上，在等离子体作用下，形成贵金属单质，所述制备方法包括以下制备步骤：S1：将衬底材料平整地铺覆在原子层沉积的腔室内部；S2：往腔室内通入等离子体，通入时长为2-4min；S3：对腔室内部抽真空，直到腔室内部的真空度达到设定要求后，停止抽真空；S4：通入预先进行加热后的贵金属源前驱体进行自限制生长，并通入惰性气体交替吹扫衬底表面；S5：往腔室内部通入与步骤S4所通入的贵金属源的前驱体对应的还原性气体，以对贵金属源前驱体进行还原，得到贵金属单质；S6：重复步骤S4和S5，往腔室内部通入相同或不同的贵金属源前驱体，得到包括至少两种贵金属原子层的贵金属层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州奥松电子股份有限公司 一种固态隔膜及其制备方法和设有其的气体传感器
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