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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种检测搬送单元的异常的征兆的搬送单元的监视方法、监视装置、监视用模型及存储介质。搬送单元搬送被搬送体，且具有：搬送部，其设置于基板处理装置，并且保持被搬送体并进行搬送；以马达，其驱动搬送部，该监视方法包括以下工序：计算工序，在将作为马达的状态的指标的值设为状态值，将表示关于搬送单元获取的多个种类的所述状态值的关系的模型设为关系模型时，基于通过机器学习得到的关系模型和关于作为监视对象的搬送单元得到的多种的状态值，来计算作为该监视对象的所述搬送单元的健康度；以及输出工序，根据通过计算工序计算出的健康度，来输出与作为监视对象的搬送单元的状态有关的信息。
主权项：1.一种搬送单元的监视方法，所述搬送单元搬送被搬送体，其中，所述搬送单元具有：搬送部，其设置于基板处理装置，并且保持所述被搬送体并进行搬送；以及多个马达，所述多个马达驱动所述搬送部，该搬送单元的监视方法包括以下工序：计算工序，在将关于与所述马达的动作有关的数据的特征量的统计值设为作为所述马达的状态的指标的值即状态值，将表示关于所述搬送单元获取的多个种类的所述状态值的关系的模型设为关系模型时，基于通过机器学习得到的所述关系模型和关于作为监视对象的所述搬送单元得到的多个种类的所述状态值，来计算作为所述监视对象的所述搬送单元的健康度；以及输出工序，根据通过所述计算工序计算出的所述健康度，来输出与作为所述监视对象的所述搬送单元的状态有关的信息，在将关于作为所述监视对象的所述搬送单元得到的所述多个种类的所述状态值的关系设为实际的关系时，将所述实际的关系相对于由所述关系模型表示的关系产生的混乱进行数值化来得到所述健康度，其中，通过机器学习得到针对所述多个马达中的各个马达的所述关系模型，在所述计算工序中，针对所述多个马达中的各个马达计算所述健康度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 搬送单元的监视方法、监视装置、监视用模型及存储介质
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