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申请/专利权人：北京中科科仪光电科技有限公司
摘要：本发明涉及束流调节技术领域，公开了一种扫描电镜束流调节方法、装置、计算机设备及存储介质，本发明通过反映不同测量条件下聚光镜值和束流值的对应关系的数学拟合模型可以确定预设束流目标值对应的目标聚光镜值，极大地节省了束流调节的时间，提高了束流调节的效率。进一步，通过搜索算法处理，极大地提高了扫描电镜束流调节的精度。因此，通过实施本发明，实现了扫描电镜束流的自动调节，提高了扫描电镜束流调节功能的便捷性与准确度。
主权项：1.一种扫描电镜束流调节方法，所述扫描电镜包括聚光镜；其特征在于，所述方法包括：获取数学拟合模型，所述数学拟合模型反映不同测量条件下聚光镜值和束流值的对应关系；获取预设束流目标值、束流实测值和预设聚光镜值；将所述预设束流目标值经过所述数学拟合模型处理，得到目标聚光镜值；基于所述预设聚光镜值、所述束流实测值、所述预设束流目标值和所述目标聚光镜值，经过搜索算法处理，得到扫描电镜束流调节结果；其中，获取数学拟合模型，包括：基于所述不同测量条件，获取多个历史聚光镜值和多个历史束流值；基于所述多个历史聚光镜值和所述多个历史束流值，经过拟合算法处理，建立所述数学拟合模型。
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权利要求：
百度查询： 北京中科科仪光电科技有限公司 扫描电镜束流调节方法、装置、计算机设备及存储介质
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