龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：具备：取得包含基板在装置内的位置及在各单元内的经过时间的状态信息的状态信息取得部；具有预测在某个状态下对于进行是否从匣盒取出新的基板及搬送至哪个处理单元的行动的价值的预测模型，并将取得的状态信息作为输入，基于预测模型选择一个行动的行动选择部；以进行所选择的行动的方式发送指示信号的指示信号发送部；取得包含处理片数与等待时间的动作结果的动作结果取得部；及以处理片数越多且等待时间越短则报酬越大的方式基于取得的动作结果来计算报酬，并基于该报酬来更新预测模型的预测模型更新部。
主权项：1.一种机器学习装置，对基板处理装置或该基板处理装置的模拟器进行机器学习，所述基板处理装置具有：载置部，该载置部载置收容多片基板的匣盒；第一处理单元和第二处理单元，该第一处理单元和第二处理单元对基板进行表面处理；清洗单元，该清洗单元清洗表面处理后的基板；搬送部，该搬送部在所述载置部、所述第一处理单元、所述第二处理单元及所述清洗单元之间搬送基板；及控制部，该控制部控制所述第一处理单元、所述第二处理单元、所述清洗单元及所述搬送部的动作，所述机器学习装置的特征在于，具备：状态信息取得部，该状态信息取得部取得包含基板在所述基板处理装置内的位置及位于各单元内的基板在该单元内的经过时间的状态信息；行动选择部，该行动选择部具有预测模型，并将通过所述状态信息取得部取得的状态信息作为输入，基于所述预测模型选择一个行动，该预测模型预测在某个状态下对于进行是否从匣盒取出新的基板及取出时搬送至第一处理单元和第二处理单元中的哪一个的行动的价值；指示信号发送部，该指示信号发送部发送指示信号至所述控制部，以进行通过所述行动选择部选择出的行动；动作结果取得部，在预定片数的基板处理结束后，该动作结果取得部取得动作结果，该动作结果包含每单位时间的处理片数、和由所述清洗单元开始清洗表面处理后的基板之前所等待的等待时间；及预测模型更新部，该预测模型更新部以所述处理片数越多且所述等待时间越短则报酬越大的方式，基于通过所述动作结果取得部取得的动作结果来计算报酬，并基于该报酬来更新所述预测模型。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 机器学习装置、基板处理装置、完成学习模型、机器学习方法、计算机可读取的存储介质
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号