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一种储能式晶圆清洗的高纯水快速加热装置 

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申请/专利权人:南通宏德储能科技有限公司;杭州宏德储能科技有限公司

摘要:本实用新型属于加热装置技术领域,公开了一种储能式晶圆清洗的高纯水快速加热装置,包括:高纯水存储槽,所述高纯水存储槽用来存储RO水;换热器,所述换热器通过第一连接管路与高纯水存储槽连接;若干加热槽,若干所述加热槽通过第二连接管路安装在所述换热器上,所述第二连接管路与所述第一连接管路连通,所述加热槽底部设在有快速加热组件。

主权项:1.一种储能式晶圆清洗的高纯水快速加热装置,其特征在于,包括:高纯水存储槽1,所述高纯水存储槽1用来存储RO水;换热器3,所述换热器3通过第一连接管路2与高纯水存储槽1连接;若干加热槽6,若干所述加热槽6通过第二连接管路5安装在所述换热器3上,所述第二连接管路5与所述第一连接管路2连通,所述加热槽6底部设在有快速加热组件61。

全文数据:

权利要求:

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