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申请/专利权人:青岛旭芯互联科技研发有限公司;东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司
摘要:本发明公开了一种LED芯片、提升LED芯片发光性能的外延片及制备方法,该外延片的结构包括衬底,以及依次沉积在衬底上的缓冲层、非掺杂GaN层、n型GaN层、应力释放层、超晶格结构层、多量子阱层、电子阻挡层和p型GaN层;超晶格结构层包括GaN层以及沉积在GaN层上的MoS2薄膜,本发明通过增加超晶格结构层,在GaN上镀MoS2薄膜,形成MoS2GaN异质结结构,增大电子和空穴的复合率,有效提高复合发光率,拓宽吸收范围。
主权项:1.一种提升LED芯片发光性能的外延片,其特征在于,包括衬底(1),以及依次沉积在所述衬底上的缓冲层(2)、非掺杂GaN层(3)、n型GaN层(4)、应力释放层(5)、超晶格结构层(6)、多量子阱层(7)、电子阻挡层(8)和p型GaN层(9);所述超晶格结构层(6)包括GaN层以及沉积在所述GaN层上的MoS2薄膜。
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