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一种用于外观检测的微距检测方法及装置 

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申请/专利权人:深圳市致尚科技股份有限公司

摘要:本申请涉及微距检测技术领域,公开了一种用于外观检测的微距检测方法及装置。所述方法包括:对待检测样品进行三维扫描,得到样品三维数据并生成多轴云台的初始配置参数;对初始配置参数进行动态平衡计算,得到平衡重量分布和阻尼系统参数并进行微振动测试,生成振动补偿数据;进行多自由度协同运动控制并采集待检测样品的稳定化图像;对稳定化图像进行位置感知特征提取并生成带空间信息的特征地图;通过带空间信息的特征地图进行缺陷检测和多角度缺陷验证,得到初步缺陷检测结果;基于初步缺陷检测结果和实时位置信息,执行云台引导的注意力机制算法进行缺陷分布分析,生成样品缺陷分布数据,本申请提高了缺陷检测的准确率。

主权项:1.一种用于外观检测的微距检测方法,其特征在于,所述方法包括:对待检测样品进行三维扫描,得到样品三维数据,并根据所述样品三维数据生成多轴云台的初始配置参数;对所述初始配置参数进行动态平衡计算,得到平衡重量分布和阻尼系统参数并进行微振动测试,生成振动补偿数据;基于所述振动补偿数据和所述初始配置参数对所述多轴云台进行多自由度协同运动控制,并采集所述待检测样品的多模态图像数据进行运动补偿处理,得到稳定化图像;对所述稳定化图像进行位置感知特征提取并结合所述多轴云台的实时位置信息,生成带空间信息的特征地图;通过所述带空间信息的特征地图进行缺陷检测和多角度缺陷验证,得到初步缺陷检测结果;基于所述初步缺陷检测结果和所述实时位置信息,执行云台引导的注意力机制算法进行缺陷分布分析,生成样品缺陷分布数据。

全文数据:

权利要求:

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