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申请/专利权人：天津大学
摘要：本发明涉及微纳力值测量技术领域，公开了基于非接触参考梁法的微悬臂梁的刚度标定方法，包括以下步骤：a.使用激光干涉仪、待测微悬臂梁、平行四边形柔性铰链、纳米微动台、精密位移台和电压加载装置搭建实验平台；b.控制直流电源加载随时间周期性等间距增大减小的电压；c.通过激光干涉仪实时测量待测微悬臂梁及柔性铰链自由端的位移变化，还公开了实验平台，包括XY方向位移台一、倾斜位移台一、XY方向位移台二和微悬臂梁夹持装置，所述倾斜位移台一的外部设置在XY方向位移台一和XY方向位移台二之间。通过采用的非接触参考梁法，使用静电力作为力的传递媒介，避免了传统的接触式测量可能导致的摩擦误差和测量点损伤。
主权项：1.基于非接触参考梁法的微悬臂梁的刚度标定方法，其特征在于，包括以下步骤：a.使用激光干涉仪、待测微悬臂梁、平行四边形柔性铰链、纳米微动台、精密位移台和电压加载装置搭建实验平台；b.控制直流电源加载随时间周期性等间距增大减小的电压；c.通过激光干涉仪实时测量待测微悬臂梁及柔性铰链自由端的位移变化；d.对实验数据进行数学处理和拟合，得到待测微悬臂梁的刚度测量值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 基于非接触参考梁法的微悬臂梁的刚度标定方法
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