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一种氧化铝基复合陶瓷介电层及其制备方法 

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申请/专利权人:湖北鼎龙汇鑫科技有限公司

摘要:本发明涉及一种氧化铝基复合陶瓷介电层,由碳化硅晶须增韧的氧化铝基复合陶瓷层与改性有机硅树脂表面涂层组成。本发明还提供一种氧化铝基复合陶瓷介电层的制备方法,包括如下步骤:将原料湿法球磨分散制备混合料浆,再经流延、丝网印刷、叠层、烧结工艺,得到氧化铝基复合陶瓷,其表面整平抛光后,喷砂控制粗糙度,再喷涂改性有机硅树脂,即得氧化铝基复合陶瓷介电层。本发明创造性地引入碳化硅晶须,提高氧化铝基复合陶瓷介电层的力学性能,少量掺入氮化铝提高其力学强度与热力学稳定性,喷涂改性有机硅树脂提高表面抗蚀刻性能,延长使用寿命。

主权项:1.一种氧化铝基复合陶瓷介电层,由氧化铝基复合陶瓷层与改性有机硅树脂表面涂层组成,其特征在于,所述氧化铝基复合陶瓷层的主要成分包括氧化铝、氮化铝和碳化硅晶须,所述改性有机硅树脂为环氧树脂与有机硅树脂的共混物。

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权利要求:

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