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陶瓷封装基板、半导体芯片及陶瓷封装基板的制作方法 

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申请/专利权人:苏州锐杰微科技集团有限公司

摘要:本发明属于半导体芯片封装技术领域,具体涉及一种陶瓷封装基板、半导体芯片及陶瓷封装基板的制作方法,包括陶瓷芯板和ABFBT复合层;所述陶瓷芯板的陶瓷基板上设置有若干互联孔,互联孔贯穿陶瓷基板的上下表面;陶瓷基板表面设置电镀铜覆膜层;陶瓷芯板的上方和下方均设置有ABFBT复合层,所述ABFBT复合层包括若干层叠布置的ABFBT层,每个ABFBT层的外侧均设置有覆铜板层;最外侧的ABFBT层的表面上设置有阻焊层,阻焊层的外侧设置有表面处理层。本方案的陶瓷封装基板的中心处具有陶瓷芯板,使其具有导热率高、硬度强,抗弯曲性能高,绝缘性好,介电损耗小,耐高温耐腐蚀等优点,经久耐用,能够延长封装基板的使用寿命,并提高出厂的合格率。

主权项:1.一种陶瓷封装基板,其特征在于:包括陶瓷芯板(100)和ABFBT复合层(300);所述陶瓷芯板(100)包括陶瓷基板(101)和电镀铜覆膜层(210);所述陶瓷基板(101)上设置有若干互联孔(310),互联孔(310)贯穿陶瓷基板(101)的上下表面;陶瓷基板(101)的上表面和下表面以及互联孔(310)的孔壁上均设置所述电镀铜覆膜层(210);所述互联孔(310)内还填充有油墨;陶瓷芯板(100)的上方和下方均设置有ABFBT复合层(300),所述ABFBT复合层(300)包括若干层叠布置的ABFBT层(320),每个ABFBT层(320)的外侧均设置有覆铜板层;在所述覆铜板层上设置有若干凹槽(240),在各凹槽(240)处的ABFBT层(320)上设置有盲孔(230);所述盲孔(230)内设置有铜柱;最外侧的ABFBT层(320)的表面上设置有阻焊层(330),阻焊层(330)的外侧设置有表面处理层(250);表面处理层(250)上也设置有内置铜柱的盲孔(230);所述电镀铜覆膜层(210)、覆铜板层和表面处理层(250)均为金属层,各个金属层上均设置有若干联通焊盘;不同覆铜板层的联通焊盘之间、覆铜板层与电镀铜覆膜层(210)的联通焊盘之间通过对应的铜柱进行电连通。

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权利要求:

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