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申请/专利权人：安徽禾臣新材料有限公司
摘要：本发明公开了光学晶体片抛光用抗晶片穿插的无蜡垫及其制备工艺，属于无蜡垫技术领域，包括衬底盘、吸附垫和防护垫，衬底盘上设置有晶片放置槽，晶片放置槽内设置有用于吸附晶片的吸附垫，吸附垫通过防护垫卡在衬底盘上，防护垫用于抗晶片穿插且将吸附垫稳固在衬底盘上。本发明解决了现有的光学晶体片在抛光时，晶片在抛光过程中易从晶片放置槽内滑动，由于晶片未得到较好地防护，不能较好地抗晶片穿插，导致无蜡垫使用效果差的问题，本发明通过在晶片放置槽内增设防护垫，使防护垫装配在衬底盘上，使吸附垫装配在防护垫上，且将吸附垫压紧在晶片放置槽内，利用防护垫可对晶片进行较好地防护，可有效抗晶片穿插，提升无蜡垫使用效果。
主权项：1.光学晶体片抛光用抗晶片穿插的无蜡垫，包括衬底盘1、吸附垫2和防护垫3，其特征在于，所述衬底盘1上设置有用于放置晶片的晶片放置槽11，所述晶片放置槽11内设置有用于吸附晶片的吸附垫2，所述吸附垫2通过防护垫3卡在衬底盘1上，所述防护垫3用于抗晶片穿插且将吸附垫2稳固在衬底盘1上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽禾臣新材料有限公司 光学晶体片抛光用抗晶片穿插的无蜡垫及其制备工艺
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