龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本申请公开了一种加热带的加热方法、加热带及半导体工艺设备，其中，所述加热带用于包裹在管道外侧以给所述管道内的介质加热，所述加热方法包括：根据所述介质升温所需的第一功率、所述管道未包裹所述加热带的裸露区域所耗散的第二功率以及所述加热带的外表面所耗散的第三功率确定所述加热带功率，其中，所述裸露区域用于安装连接件，控制所述加热带以所述加热带功率对所述管道进行加热。本申请由于可以对管道每个温区的加热带进行多因素分析，更加精确地设计加热带的功率，从而可以减小加热带的设计功率偏差，使每一个温区中工艺气体的实际温度都更接近该温区的设计目标值，以改善工艺效果和产品质量。
主权项：1.一种加热带的加热方法，应用于半导体工艺设备，其中，所述加热带用于包裹在管道外侧以给所述管道内的介质加热，其特征在于，所述加热方法包括：根据所述介质升温所需的第一功率、所述管道未包裹所述加热带的裸露区域所耗散的第二功率以及所述加热带的外表面所耗散的第三功率确定所述加热带功率，其中，所述裸露区域用于安装连接件；控制所述加热带以所述加热带功率对所述管道进行加热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 一种加热带的加热方法、加热带及半导体工艺设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号